- 政策解讀
- 經(jīng)濟發(fā)展
- 社會發(fā)展
- 減貧救災
- 法治中國
- 天下人物
- 發(fā)展報告
- 項目中心
|
|
四、主要任務和發(fā)展重點
（一）主要任務
1、圍繞戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，提升配套能力
加強為戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)配套的電子專用設備儀器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，圍繞集成電路、太陽能光伏、中小尺寸平板顯示、下一代通信等重點領域所需電子專用設備儀器，大力推進關鍵技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，加快產(chǎn)品推廣應用進程。
2、加強基礎能力建設，提升產(chǎn)業(yè)整體水平
針對關鍵設備和儀器產(chǎn)業(yè)化水平低、可靠性差等問題，加強基礎工藝研究，提升重點設備和儀器質(zhì)量水平，積極發(fā)展電子專用設備制造的關聯(lián)產(chǎn)業(yè)和配套產(chǎn)業(yè)，加大技術改造投入，提高基礎零部件和配套產(chǎn)品的技術水平，不斷滿足電子信息制造業(yè)發(fā)展的需要。
3、以重大專項實施為契機，加強產(chǎn)業(yè)互動
引導承擔重大專項的企業(yè)在攻克技術難關的同時延展技術應用，推動集成電路設備相關技術在半導體、顯示、光伏、元器件等領域的應用，推動通信網(wǎng)絡測試設備在通用測試儀器中的應用。針對新興市場需求，加強產(chǎn)業(yè)鏈上下游聯(lián)動，共同探索新工藝，聯(lián)合研發(fā)新型設備儀器。
（二）發(fā)展重點
1、集成電路生產(chǎn)設備
（1）8英寸0.13微米集成電路成套生產(chǎn)線設備產(chǎn)業(yè)化
在“十一五”攻關的基礎上，以設備生產(chǎn)能力的提升和產(chǎn)業(yè)化為重點。解決以光刻設備、刻蝕設備、離子注入設備、退火設備、單晶生長設備、薄膜生長設備、化學機械拋光設備和封裝測試設備為代表的8英寸0.13微米工藝的集成電路成套設備的自主研發(fā)，突破核心關鍵技術，在國內(nèi)建立成套生產(chǎn)線，提高半導體設備行業(yè)的配套性和整體水平。
（2）12英寸65納米-45納米集成電路關鍵設備產(chǎn)業(yè)化
光刻機：基于國產(chǎn)核心部件完成90納米光刻機的產(chǎn)品定型，形成小批量生產(chǎn)能力，實現(xiàn)產(chǎn)品銷售。
刻蝕機：使國產(chǎn)65納米-45納米刻蝕機進入主流生產(chǎn)線，實現(xiàn)刻蝕機的產(chǎn)業(yè)化；完成45納米以下柵刻蝕和介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品研制，逐步完成關鍵技術攻關，實現(xiàn)設備生產(chǎn)線驗證及商業(yè)設備定型設計。通過納米刻蝕機研制和工藝開發(fā)掌握高密度等離子刻蝕機制造的核心技術。
封測設備：開展先進封裝圓片減薄設備、三維系統(tǒng)封裝通孔設備、高密度倒裝鍵合設備、新型晶片級封裝用設備等的研發(fā)。
其它設備：完成45納米薄膜設備、摻雜設備、互聯(lián)設備、平坦化設備、清洗設備、工藝檢測設備等整機產(chǎn)品的研發(fā)，在工程樣機設計及工藝開發(fā)的基礎上，結(jié)合可靠性、穩(wěn)定性等產(chǎn)業(yè)化指標要求，改進設計，制造中試樣機，通過大量工藝驗證與優(yōu)化試驗，確定商業(yè)機設計，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化銷售。
2、太陽能電池生產(chǎn)設備
（1）太陽能級多晶硅及單晶硅生長、切割、清洗設備產(chǎn)業(yè)化
多晶硅生長設備：突破熱場分控技術、定向凝固技術，實現(xiàn)投料量噸級及以上產(chǎn)品硅鑄錠爐的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，并實現(xiàn)成品率達到75%以上。
單晶硅生長設備：突破單晶生長全自動控制技術，實現(xiàn)8英寸（156毫米×156毫米硅片）以上尺寸全自動單晶爐產(chǎn)業(yè)化。
切割設備：突破張力控制軟件技術、水冷卻氣密封技術、砂漿溫度閉環(huán)控制技術等關鍵技術，保證能滿足太陽能硅片大生產(chǎn)切割需求，切割硅片尺寸8英寸，切割精度優(yōu)于10微米、厚度在180微米以下的太陽能硅片多線切割機產(chǎn)業(yè)化。
清洗設備：突破槽體溫度控制技術、溶液循環(huán)技術、大行程直線傳輸技術等關鍵技術，提升產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，實現(xiàn)碎片率小于0.3‰的太陽能晶硅清洗制絨設備產(chǎn)業(yè)化，促進晶硅太陽能電池片轉(zhuǎn)化效率提升。
（2）全自動晶硅太陽能電池片生產(chǎn)線設備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
重點發(fā)展擴散爐、等離子增強化學氣相沉積設備（PECVD）等關鍵設備，突破單機自動化及生產(chǎn)線設備之間物流傳輸自動化技術，實現(xiàn)整線自動化集成。
重點突破自動圖像對準技術、柔性傳輸技術、高精度印刷技術、高速高精度對準技術、測試分選技術、智能化控制及系統(tǒng)集成技術，進一步提高電池片電極印刷、烘干、測試分選速度，實現(xiàn)產(chǎn)能達到1440片/小時以上、碎片率低于0.5%的全自動太陽能印刷線設備產(chǎn)業(yè)化。
（3）薄膜太陽能生產(chǎn)設備
硅基類薄膜太陽能電池設備：重點提高大面積沉積的均勻性，進一步提升設備運行的穩(wěn)定性，適度提升自動化程度，提高生產(chǎn)效率。
碲化鎘（CdTe）薄膜太陽能電池設備：突破真空鍍膜設備技術難點，研發(fā)新型升華源的結(jié)構(gòu)，進一步提高溫度均勻性，開發(fā)在高溫、真空環(huán)境下的傳動系統(tǒng)。
銅銦鎵硒（CIGS）薄膜太陽能電池設備：突破真空鍍膜設備、材料濺射、硒化技術等技術難點，實現(xiàn)元素配比的精確控制，保證大面積沉積的均勻性，提高生產(chǎn)效率，降低制造成本。實現(xiàn)0.7平方米以上、電池轉(zhuǎn)化效率達14%以上的CIGS整線設備集成。
3、新型元器件生產(chǎn)設備
（1）中小尺寸有機發(fā)光顯示（OLED）生產(chǎn)設備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
解決無源有機發(fā)光顯示（PM-OLED）用有機蒸鍍和封裝等關鍵設備大面積化和低成本化等問題，重點發(fā)展蒸發(fā)源、掩模對位、玻璃和掩模板固定裝置等設備，進一步提高生產(chǎn)效率。
開展中小尺寸有源有機發(fā)光顯示（AM-OLED）產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和制造設備研發(fā)，突破濺鍍臺、PECVD系統(tǒng)、熱蒸發(fā)系統(tǒng)等AM-OLED用的薄膜晶體管（TFT）薄膜沉積裝備；涂膠機、曝光機、干濕法刻蝕機等AM-OLED用的TFT圖形制作裝備；退火爐、退火氣體管道、激光退火設備等AM-OLED用TFT退火裝備；TFT電學測試設備、OLED光學測試設備等AM-OLED用檢測裝備；AM-OLED用缺陷檢測修補裝備，如激光修補機等。
（2）高儲能鋰離子電池生產(chǎn)設備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
突破電池漿料精密攪拌技術、電極極片精密涂敷技術、極片精密軋膜技術及快速極片分切技術，實現(xiàn)400升（裝量）漿料攪拌設備、650毫米（幅寬）擠出式涂布設備、Φ800（軋輥直徑800毫米）強力軋膜設備、極片分切設備（分切速度30-35米/分鐘）研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，實現(xiàn)整線設備集成。
（3）其他元器件生產(chǎn)設備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化
重點發(fā)展高性能永磁元件生產(chǎn)設備、高亮度LED生產(chǎn)設備、金屬化超薄膜電力電容器生產(chǎn)設備、超小型片式元件生產(chǎn)設備、高密度印制電路板生產(chǎn)設備、高精密自動印刷機高速、多功能自動貼片機無鉛再流焊機、高精度光學檢測設備。
4、通信與網(wǎng)絡測試儀器
滿足時分雙工長期演進技術（TD-LTE）網(wǎng)絡測試的多模終端樣機的研發(fā)，開發(fā)TD-LTE路測分析儀并達到商用化要求，配合TD-LTE技術網(wǎng)絡試驗和規(guī)模商用。
針對TD-LTE基站和終端特點及相關新技術和實際測試需求，開發(fā)模塊化的TD-LTE基站和終端射頻測試系統(tǒng)，推動基站和終端性能進一步提高。
針對長期演進技術（LTE）網(wǎng)絡接口進行協(xié)議一致性測試的需求，研究更方便、更簡潔的測試工具對LTE的核心網(wǎng)絡設備和無線網(wǎng)絡設備進行測試，推動設備接口實現(xiàn)一致性。
針對TD-LTE終端一致性測試開發(fā)擴展測試集儀器；針對TD-LTE-Advanced終端一致性測試開發(fā)終端協(xié)議仿真測試儀。
其他通信方式以及網(wǎng)絡測試所需的新一代通信測試儀器、計算機網(wǎng)絡測試儀器、射頻識別綜合測試儀器、各類讀卡器、近距離無線通信綜合測試儀器。
5、半導體和集成電路測試儀器
滿足對多種功能半導體和集成電路進行測試需求的射頻與高速數(shù)模混合信號集成電路測試系統(tǒng)；存儲器等專項測試系統(tǒng)；半導體和集成電路在線測試系統(tǒng)、測試開發(fā)系統(tǒng)。
6、數(shù)字電視測試儀器
滿足數(shù)字電視和數(shù)字音視頻測試需求的數(shù)字電視信號源、數(shù)字音視頻測試儀、碼流監(jiān)測分析儀、圖像質(zhì)量分析儀、數(shù)字電視上網(wǎng)融合分析儀、網(wǎng)絡質(zhì)量和安全監(jiān)測儀、數(shù)字電視地面信號覆蓋監(jiān)測系統(tǒng)。
相關閱讀：